Microsense电容传感器，Microsense磁强计， Microsense磁光克尔效应工具

MicroSense的电容式传感器业务由Robert C. Abbe于1967年创立，最初是ADE公司的一部分。ADE公司以其富有远见和新颖的高分辨率、非接触式测量方法而闻名，适用于要求苛刻的尺寸测量应用。随着时间的推移，ADE成长为世界领先的裸半导体晶圆测量工具供应商。用于位置和位移测量的高分辨率电容式传感器（也称为“盖规”）成为“ADE”和MicroSense的商标名称“MicroSense”的代名词。

MicroSense提供基于专利电容传感技术的电容式传感器和OEM计量模块，对精密产品进行非常精确的高带宽测量，如太阳能晶圆、蓝宝石晶圆、硬盘驱动器电机、空气轴承主轴、精密X-Y平台、光盘、汽车零件和机床。MicroSense的电容式位移传感器提供业内最高的分辨率，小于0.05纳米，具有出色的稳定性和几乎无限的使用寿命。

屡获殊荣的磁性测量工具，MicroSense磁性计量业务始于25年前的数字测量系统（DMS），自1997年以来一直作为ADE技术的一部分。MicroSense拥有世界一流的磁力测量专家团队，是用于磁性测量的高灵敏度振动样品磁力计的领先供应商。MicroSense的振动样品磁力计有多种型号可供选择，具有各种功能、场范围、分辨率和选项。MicroSense的VSM系统用于全球最负盛名的磁性实验室的基础磁性研究，包括学术和商业领域。还提供一系列在线生产磁性计量工具，以满足当今快速发展的硬盘存储系统的制造严格要求。2012年，MicroSense推出了世界上第一个用于MRAM晶圆开发和制造的300毫米非接触式磁特性测量工具。

用于晶圆尺寸测量的创新工具MicroSense提供高灵敏度晶圆测量工具，用于表征蓝宝石，碳化硅和各种类型的半导体晶圆。MicroSense于2012年<>月收购了亚利桑那州坦佩的SigmaTech，Inc.。通过此次收购，MicroSense在其创新计量解决方案组合中增加了领先的晶圆检测工具。SigmaTech系统集成了多种传感技术，如光谱法、干涉法和SigmaTech的专利自动定位背压（APBP）技术。 

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 非接触式位置测量，在短距离范围内具有高分辨率

MicroSense的电容式传感器提供任何市售电容式传感器中最低的噪声性能，可实现纳米甚至皮米分辨率。提供多种类型的传感器 - 这些“特定应用”电容式位置传感器针对高稳定性和线性度或最高测量带宽进行了优化，以实现快速响应。

所有 MicroSense 精密电容式传感器均具有：

完全非接触式电容式位置测量 - 最精确的电气传感技术

检测任何导电、接地的目标 – 表面光洁度或材料对精度没有影响

针对短测量范围进行了优化 – 10 微米至 4 毫米，具体取决于传感器尺寸 

 MicroSense低噪声优势 - 位置传感器具有纳米分辨率、高稳定性和无与伦比的精度

非常适合非接触式位移测量和短距离尺寸测量，从 ± 5 微米到 ± 2 毫米。

高精度 – 0.02% 满量程线性度典型值，无周期误差或迟滞

与任何接地的导电靶材一起使用 - 材料或表面光洁度对精度没有影响

非常稳定 – 传感器头的散热基本为零

易于设置的电容式位置传感器MicroSense 的电容式位置传感器使用单个传感器来检测接地的导电目标 - 比双传感器设计紧凑得多。MicroSense 4810 包括一个紧凑型电子模块（解调器），带有用于模拟传感器输出的连接。检测目标的传感器头或探头通过 3 米长的电缆连接到电子模块。包括一个低噪声电源。

MicroSense的 2800 系列探头提供各种传感器尺寸，以满足您的确切性能要求。

行业标准±通过前面板上的 BNC 插孔提供 10 V 模拟输出，可轻松连接到示波器、频谱分析仪或基于计算机的 A/D 板。

易于读取的前面板仪表简化了探头设置。

还提供 4800 型 3U 欧洲卡机架安装版本。

 精密电容式位置传感器 – 8810 型MicroSense 8810 型是一款非接触式精密位置传感器。8810 专为实现最佳线性度和稳定性而设计，测量带宽高达 20 kHz，是伺服系统位置反馈和快速工具伺服应用的理想选择。 

新型号采用超低噪声设计、亚纳米分辨率，并增加测量带宽以实现快速响应。

非常适合非接触式位移测量和短距离尺寸测量，从 ± 5 微米到 ± 2 毫米。

高精度 – 0.02% 满量程线性度典型值，无周期误差或迟滞

与任何接地的导电靶材一起使用 - 材料或表面光洁度对精度没有影响

非常稳定 – 传感器头的散热基本为零

MicroSense 8810 包括一个紧凑型电子模块（解调器），带有用于模拟传感器输出的连接。检测目标的传感器头或探头通过 3 米长的电缆连接到电子模块。包括一个低噪声电源。

使用MicroSense的 SpinCheck 主轴计量系统和非接触式电容式位移传感器测量和分析主轴和电机性能

SpinCheck 系统包括台式电脑、数据采集和计时板、全面的 SpinCheck 测量和分析软件以及相关的电缆和附件。SpinCheck 测量并存储所有数据，以供分析、显示、打印或存储以备将来使用。

精确测量任何旋转机构的误差运动

设计用于与MicroSense的非接触式精密电容式传感器配合使用，可提供纳米级分辨率。

先进的专利异步采样技术可准确测量周期性和非周期性误差。

测量随时间和频率变化的参数

提供多达 6 个测量通道

预设限值的生产模式测试